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Chiller制冷技術(shù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供解決方案

簡要描述:【無錫冠亞】是一家專注提供高低溫控溫解決方案的設(shè)備廠家,公司主要生產(chǎn)高低溫沖擊氣流儀(熱流儀)、chiller、超低溫制冷機(jī)、高低溫測試機(jī)機(jī)、高低溫沖擊箱等各種為通訊、光模塊、集成電路芯片、航空航天、天文探測、電池包氫能源等領(lǐng)域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案。Chiller制冷技術(shù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供解決方案

  • 產(chǎn)品型號(hào):FLTZ-805
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-03-12
  • 訪  問  量:38
詳情介紹
品牌冠亞恒溫冷卻方式水冷式
價(jià)格區(qū)間10萬-50萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
儀器種類一體式應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,航天,汽車,電氣

Chiller制冷技術(shù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供解決方案

Chiller制冷技術(shù)為半導(dǎo)體行業(yè)提供解決方案


在薄膜沉積工藝中,Chiller系統(tǒng)的性能直接影響到薄膜質(zhì)量和工藝穩(wěn)定。隨著半導(dǎo)體和顯示面板行業(yè)的發(fā)展,對(duì)薄膜沉積工藝的溫度控制要求越來越高。

一、Chiller系統(tǒng)選型要點(diǎn)

薄膜沉積工藝對(duì)溫度控制有著較高的要求。在選型時(shí),首先要準(zhǔn)確計(jì)算工藝設(shè)備的散熱負(fù)荷,考慮熱負(fù)荷和動(dòng)態(tài)負(fù)荷變化。

溫控精度是選型的關(guān)鍵指標(biāo)。建議選擇采用PID控制算法的機(jī)型,能夠?qū)崿F(xiàn)溫度調(diào)節(jié)。同時(shí),要考慮系統(tǒng)的響應(yīng)速度,確保能夠快速響應(yīng)工藝溫度變化。

水質(zhì)要求也是選型的考慮因素。薄膜沉積工藝通常要求使用超純水作為制冷介質(zhì),因此需要選擇能夠滿足高水質(zhì)要求的Chiller系統(tǒng)。建議選擇配備完善水處理系統(tǒng)的機(jī)型,包括去離子裝置和微生物控制設(shè)備。

二、安裝注意事項(xiàng)

Chiller系統(tǒng)應(yīng)盡量靠近工藝設(shè)備,縮短管路長度,減少熱損失。同時(shí)要預(yù)留足夠的維護(hù)空間,確保日常維護(hù)和檢修的便利性。

管路設(shè)計(jì)需要考慮熱膨脹和振動(dòng)隔離。建議采用不銹鋼管路,減少腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。在關(guān)鍵位置安裝膨脹節(jié)和減震器,防止熱應(yīng)力和振動(dòng)對(duì)系統(tǒng)的影響。

電氣安裝要符合相關(guān)規(guī)范,確保接地可靠。建議為Chiller系統(tǒng)配置配電柜,并安裝過載保護(hù)和漏電保護(hù)裝置??刂凭€路要采用隔離電纜,防止電磁干擾。

系統(tǒng)調(diào)試是安裝的重要環(huán)節(jié)之一。首先要進(jìn)行水系統(tǒng)沖洗,確保管路清潔。然后進(jìn)行系統(tǒng)試運(yùn)行,檢查各部件運(yùn)行狀態(tài),調(diào)整控制參數(shù),確保系統(tǒng)達(dá)到設(shè)計(jì)要求。



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